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劈裂设备
可兼容4英寸晶圆片的半自动劈裂设备
TEC-3005KD
TEC-3005KD
高钢性并且大功率的劈裂机
1. 采用圆环加压方式使蓝膜受力均一
2. 自动调整水平功能
3. 劈裂刀可上下两面更换, 降低耗材成本
4. 兼容4英寸晶圆片的劈裂加工, 受台最大间隙可达5mm
5. 高钢性设计, 实现精准的劈裂效果
6. 配备高效的照明系统,有效地识别芯片
        * 专利申请中
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洽询热线 86-21-6237-2208