TECDIA / 製品情報 / ダイヤモンド応用製品 / ブレーキング装置

1.	テープテンションを均一化するウェハーリング全面固定機構採用
2.	自動演算によるウェハーアライメント機能
3.	低コストを実現するダブルブレード
4.	4インチウェハー対応、テーブル（受け台）開口最大5mm
5.	高剛性による確実なブレーキング
6.	ウェハー認識に効果的な、新・ライティングシステム搭載*
	* 特許申請中