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12インチまでの極薄ウェハーに対応
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次世代の大口径極薄ウェハー向きスクライブ装置 |
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エアー制御によるツール加圧
バネ方式のように切り込み深さに左右されず一定の荷重が可能になると共に、エアサスペンション効果によりツールのジャンピングが極めて少なくなります。 |
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ポーラスチャック・テーブル
ワーク前面にわたり吸着が均一になり、きれいなスクライビングが可能になります。 |
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リニアサーボモータの搭載
駆動側の振動を減らすために、リニアサーボモータを搭載し、より精密なスクライブが可能になりました。 |
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