| 1. |
高剛性設計・高スループット
加工軸・送り軸・カメラ軸が、それぞれ独立。高速で使用する際の振動やブレを排し、きれいなスクライブラインを生み出します。さらに、条件設定を高速化することができます。 |
| 2. |
オートアライメント機能
テクダイヤオリジナル画像認識システムにより、バーアレイの一括認識を行うことができます。さらに、1チップ認識の可能な、破片ウェハーモードも搭載しています。 |
| 3. |
エア制御によるツール加圧
バネ方式のように切り込み深さに左右されず、一定の荷重が可能になると共に、エアサスペンション効果によりツールのジャンピングが極めて少なくなります。 |
| 4. |
リニアサーボモータの搭載
駆動側の振動を減らすために、リニアサーボモータを搭載し、より精密なスクライブが可能になりました。 |
