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スクライブ装置

3インチウェハー対応スクライブ装置

TEC-2004TM

R&D・大学機関の初期設備として最適

1. エアー制御によるツール加圧
バネ方式のように切り込み深さに左右されず一定の荷重が可能になると共に、エアサスペンション効果によりツールのジャンピングが極めて少なくなります。
2. 高剛性設計
加工軸と送り軸の機構を分離し、それぞれボディに直接固定。剛性にすぐれた構造でサファイア等の硬い素材のスクライビングにおいて差があらわれます。
3. 高スループット
カメラ軸と加工軸を別に設けスクライビング動作を停止することなくワーク状態の観察が可能。作業時間を大幅に短縮。また、加工軸の動きが偏芯軸に連動したストップモーションの無い往復運動のため、トータル作業時間が短くなります。
4. ポーラスチャック・テーブル
ワーク前面にわたり吸着が均一になり、きれいなスクライビングが可能になります。

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