テクダイヤ株式会社

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半導体製造装置

ウェハワックス貼付装置

4インチ対応 ウェハワックス貼付装置(商品名:TEC-1006ZR)

セラミックプレートへの
多数枚ウェハ貼付作業を自動化に!

特長

  • ウェハの貼付平坦度の安定化を実現(当社実績2.5um)
  • 多数枚ウェハに対応可能
  • 2インチ:最大10枚、3インチ:最大5枚、4インチ:最大3枚まで貼り付けが可能です。

  • 多彩なレシピに対応可能
  • ヒーター、WAX塗布、プレス、冷却などの多彩なレシピに対応可能です。
    条件の最適化により高スループットを実現します。(当社実績:2インチ×8枚=15分以内)

サイズ(幅×奥行×高さ)/重さ

940mm×810mm×1680mm / 500kg

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