テクダイヤ株式会社

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半導体製造装置

ブレーク装置

6インチウェハ対応 フルオートブレーク装置 (商品名:TEC-1228AL)

6インチウェハに対応した
次世代型ブレーク装置です。

特長

  • 6インチウェハに標準対応
  • ブレークブレードとワークテーブルを交換することで、2インチから4インチウェハにも対応可能です。

  • ブレーク認識機能搭載
  • 自動機には欠かせないブレーク認識機能の搭載により、ブレークミスを減少させます。

  • リング搬送機能向上によるスループットの向上
  • ダブルアーム搬送により、ウェハのロード時間を短縮します。

  • 画像認識機能向上による操作性の向上
  • 視認性の向上により、画像認識時のマッチングエラーを減少させます。

オプション

上面ライトシステム
下面からの照射だけでは見え難いウェハに対して、有効な上面から照射を行います。
電磁ハンマーユニット
通常のブレーク動作だけでは割れ難いウェハに対して、ブレークのサポートをする
ユニットです。

サイズ(幅×奥行×高さ)/重さ

1516mm×862mm×1506mm / 650kg

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