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상•하 카메라 탑재로 화상 인식성을 향상
| 1. |
오리지널 화상 처리 기능 탑재
테크다이아•오리지날의 화상 처리 기능에 의해, 정밀도 높은 Scribing이 실현됩니다. |
| 2. |
고 정밀한 위치 결정 성능
X Y스테이지에 석정반을 토대로 한, Linear Servo를 채용하고 있습니다. |
| 3. |
Z축과 가공축의 동시제어
Wafer에 대해서, Scribing의 높이 방향의 형상이 지정 가능하게 됩니다. |
| 4. |
상・하 카메라 탑재가능
표면•뒷면의 양측에서의 화상 인식이 가능하기 때문에, Wafer를 선택하지 않습니다. |
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