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R&D • 대학기관의 초기설비로 적합
| 1. |
Air Control에 의한 Tool 가압
Spring 방식과 같이 Scribing Depth에 좌우되지 않고 일정한 하중이 제어 됨과 동시에, Air
Suspension 효과로 Tool의 Jumping이 지극히 적게 됩니다. |
| 2. |
고강성( High Rigidity) 설계
가공축과 Scribing축의 기구를 분리해, 각각 Body에 직접 고정. 강성이 뛰어난 구조로 사파이어등의 경질 소재의 Scribing에 대해 차이가 뛰어납니다. |
| 3. |
Hige Throughput
카메라축과 가공축을 따로 마련해 Scribing 동작을 정지하는 일 없이 Work상태의 관찰이 가능. 작업시간을 큰폭으로 단축. 또, 가공축의 움직임이 편심축으로 연동한 Stop Motion이 없는 왕복 운동을 위해, Total 작업시간이 짧아집니다. |
| 4. |
Porous Chuck Table
Work 전면에 걸쳐 흡착이 균일하게 되어, 깨끗한 Scribing이 가능하게 됩니다. |
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