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Loader•Unloader 부착의 Massproduction용 장치
| 1. |
Auto Alignment기능
테크다이아•오리지날 화상 자동 인식에 의해, Wafer 인식용 마크가 없는 조각의 wafer도 Auto Alignment가
가능합니다. |
| 2. |
고강성( High Rigidity) 설계
Table축, Scribing축, 카메라축을 각각 분리. 여분의 진동이나 치우침을 배제해, 깨끗한 Scribing
Line을 만들어 냅니다. |
| 3. |
Loader/Unloader 탑재
화상 인식과 함께 Full•Auto Scribe를 실현합니다. |
| 4. |
광각도 확대, 2대의 카메라를 탑재
종래의 Scribe 장치에 있던 위치 결정 각도 등, Wafer의 Loading 방법의 제한을 대폭으로 완화했습니다. |
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