Scribe Machine
4Inch Wafer 대응 Full Auto Scribe Machine (상품명:TEC-2004TMR)
LED용 Sapphire Wafer를 비롯하여, 모든 Wafer에 적용할 수 있는 전 자동 Scribe Machine입니다.
특징
- Auto Alignment 기능
- 고강성설계
- Loader／Unloader 탑재
- 광각과 확대, 카메라를 두 대 탑재
테크다이아・Original Image 자동 인식으로 Wafer 인식용 마크가 없는 조각 Wafer라도 Auto Alignment가
가능합니다.
가공축, 이송축, 카메라축을 각각 분리. 불필요한 진동과 흔들림을 배제하고 깔끔한 Scribe Line을 만들어
냅니다.
Image 인식과 함께 Full Auto Scribe를 실현합니다.
종래의 Scribe Machine에 있었던 위치 결정 각도 등, Wafer Loading방법의 제한을 대폭으로 완화하였습니다.
Option
Diamond ・Scribe Tool |
축적된 Scribe 기술을 토대로 탁월한 Diamond 가공 기술로 탄생된 테크다이아 Tool |
|---|---|
Tool Setter |
준비시간 절약과 Cutting Point를 쉽게 내기 위한 JIG. Operation을 정밀하게, 또한 단시간 내에 실현합니다. |
사이즈（폭×깊이×높이）/무게
978mm×1152mm×1616mm / 950kg
