Scribe Machine
4Inch Wafer 대응 Semi Auto Scribing Machine(상하면인식)(상품명：TEC-6000RS)
상하 Camera탑재 Scribing Machine입니다.
특징
- Original 화상처리기능 탑재
- 고정밀의 위치 결정 기능
- Z축과 가공축의 동시제어
- 상・하 Camera 탑재가능
테크다이아・Original 화상처리기능으로 높은 정밀도의 Scribe를 실현합니다.
X Y Stage에 석정반을 토대로 한, Linear Servo를 채용하고 있습니다.
Wafer에 Scribing의 높이 방향의 형상을 지정 가능하도록 됩니다.
표면・뒷면의 양측에서의 화상 인식이 가능하기 때문에, Wafer를 선택하지 않습니다.
Option
Diamond ・ Scribing Tool |
축척 된 Scribing 기술을 기초로, 탁월한 Diamond 가공기술에 의하여
만들어진 테크다이아의 Tool |
|---|---|
Tool Setter |
준비시간 절약과 Cutting Point를 쉽게 내기 위한 JIG. Operation을 정밀하게, 또한 단시간 내에 실현합니다. |
사이즈（가로×세로×높이）/무게
900mm×865mm×1610mm / 450kg
