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上蠟設備
實現將磊晶片貼在陶瓷盤上的自動化作業
1.
上蠟後晶片平坦度安定(我司實績:±2.5μm)
2.
可對應多片上蠟
2英吋:最多10片、3英吋:最多5片、4英吋:最多3片
3.
可設置各種加工條件
加熱溫度、噴蠟多少、加壓壓力、冷卻時間等多項條件可供調整及選擇
根據不同的設定條件可實現最高生產效率(我司實績:2英吋×8片=15分鐘以內)