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3英吋磊晶片之切割設備
適合大學或初期研發單位使用
1.
氣壓式控制
氣壓式切割不同於彈簧控制的切割機,氣壓式的懸吊功能使劃線期間可減少跳動,防止切割形狀不良。
2.
各軸承獨立設計
加工軸、傳送軸、相機軸各自分離,排除多餘的振動,產生出完美的線條。
3.
高生產率(Through-put)
顯微鏡和中央軸分離設計,操作間即使不停止也能得知其切割狀況,藉由主、副軸的搭配運用可縮短整個製程的總處理時間。
4.
陶瓷多孔式吸盤
利用多孔式材質吸盤,使晶片能被均勻吸附,實現俐落的劃線。