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仕様仕様

誘電体材料誘電体材料

  単位 アルミナ(Al₂O₃) 窒化アルミニウム(AlN)
厚さ mm (mils) 0.254 (10)
0.381 (15)
0.635 (25)
Minimum: 0.100 (4)
0.254 (10)
0.500 (20)
0.635 (25)
Minimum: 0.100 (4)
厚さ公差
(Polished)
mm (mils) 0.010 (0.39) 0.010 (0.39)
サイズ mm (inches) Max: 101.6 X 101.6 (4 X 4)
Min: 0.25 X 0.25 (0.01 X 0.01)
Max: 101.6 X 101.6 (4 X 4)
Min: 0.25 X 0.25 (0.01 X 0.01)
表面粗さ 表面 Ra μm (μ") Polished: 0.025 (1.0) Polished: 0.051 (2.0)
裏面 Ra μm (μ") Polished: 0.025 (1.0) Polished: 0.051 (2.0)
誘電率 @ 1 MHz 9.9 9.0
純度 N/A 99.6% 99.9%
色調 N/A White Grey
熱膨張係数 1 X 10⁻⁶ / °C 7.0 4.5
曲げ強度 MPa 620 320
損失 @ 1 MHz 0.0001 0.0003

その他、実績材料その他、実績材料

  単位 ALTAS (K=16,000) ClassII (K=1,600)
Barium titanate
厚さ mm (mils) 0.150 (6), 0.254 (10) 0.076 (3) ~ 0.254 (10)
サイズ mm (inches) Max: 4.32 X 4.32 (1.7 X 1.7)
Min: 0.254 x 0.254 (0.01 X 0.01)
Max: 4.32 X 4.32 (1.7 X 1.7)
Min: 0.254 x 0.254 (0.01 X 0.01)
表面粗さ 表面 Ra μm (μ") - Polishied
裏面 Ra μm (μ") - Polishied
誘電率
(公称値)
- 16,000 (@1KHz) 1,600 (@1KHz)
色調 - Gray Brown
損失 - <6% (@1KHz) <2.5% (@1KHz)
その他の誘電体材料についてはお問い合せください。

金属膜構成金属膜構成

  単位 測定値/構成
膜厚 μm (μ") Au: 0.10 - 5.000 (3.39 - 196.85)
Pt: 0.10 - 0.300 (3.93 - 11.81)
Ti: 0.03 - 0.100 (1.18 - 3.93)
膜構成 N/A Ti-Pt-Au
TaN-Ti-Pt-Au
TaNシート抵抗 Ω/sq 25
50
75
100

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