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- English
単位 | アルミナ(Al₂O₃) | 窒化アルミニウム(AlN) | ||
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厚さ | mm (mils) | 0.254 (10) 0.381 (15) 0.635 (25) Minimum: 0.100 (4) |
0.254 (10) 0.500 (20) 0.635 (25) Minimum: 0.100 (4) |
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厚さ公差 (Polished) |
mm (mils) | 0.010 (0.39) | 0.010 (0.39) | |
サイズ | mm (inches) | Max: 101.6 X 101.6 (4 X 4) Min: 0.25 X 0.25 (0.01 X 0.01) |
Max: 101.6 X 101.6 (4 X 4) Min: 0.25 X 0.25 (0.01 X 0.01) |
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表面粗さ | 表面 | Ra μm (μ") | Polished: 0.025 (1.0) | Polished: 0.051 (2.0) |
裏面 | Ra μm (μ") | Polished: 0.025 (1.0) | Polished: 0.051 (2.0) | |
誘電率 | @ 1 MHz | 9.9 | 9.0 | |
純度 | N/A | 99.6% | 99.9% | |
色調 | N/A | White | Grey | |
熱膨張係数 | 1 X 10⁻⁶ / °C | 7.0 | 4.5 | |
曲げ強度 | MPa | 620 | 320 | |
損失 | @ 1 MHz | 0.0001 | 0.0003 |
単位 | ALTAS (K=16,000) | ClassII (K=1,600) Barium titanate |
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厚さ | mm (mils) | 0.150 (6), 0.254 (10) | 0.076 (3) ~ 0.254 (10) | |
サイズ | mm (inches) | Max: 4.32 X 4.32 (1.7 X 1.7) Min: 0.254 x 0.254 (0.01 X 0.01) |
Max: 4.32 X 4.32 (1.7 X 1.7) Min: 0.254 x 0.254 (0.01 X 0.01) |
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表面粗さ | 表面 | Ra μm (μ") | - | Polishied |
裏面 | Ra μm (μ") | - | Polishied | |
誘電率 (公称値) |
- | 16,000 (@1KHz) | 1,600 (@1KHz) | |
色調 | - | Gray | Brown | |
損失 | - | <6% (@1KHz) | <2.5% (@1KHz) |
単位 | 測定値/構成 | |
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膜厚 | μm (μ") | Au: 0.10 - 5.000 (3.39 - 196.85) Pt: 0.10 - 0.300 (3.93 - 11.81) Ti: 0.03 - 0.100 (1.18 - 3.93) |
膜構成 | N/A | Ti-Pt-Au TaN-Ti-Pt-Au |
TaNシート抵抗 | Ω/sq | 25 50 75 100 |