Nanoindentation 측정법의 선단부에서 사용되는 테크다이아의 Diamond Indenter (Berkovich형) 고객에게 선택되는 테크다이아의 가공기술
일생생활에 필수불가결한 첨단기술의 하나인 박막기술. 반도체 Device와 정보축적 미디어, 미세전자제어기술(MEMS) 등, 많은 첨단기술을 지탱하고 있습니다. 이 기술진보에 따른 정확한 특성평가는 연구개발에 아주 중요한 자료입니다. 심장부에 있는 제품의 미세소형화・극박막화로 진행에서 박막자료특성평가방법은 더욱 정밀한 평가 Tool로 유지하며 진보해왔습니다. 박막이나 미세소량영역의 견고함, Young's modulus 등 재료특성의 측정방법에 Nanoindentation 법이 있습니다. 이것은 선단에 Diamond를 사용한 돌출부에 Diamond Indenter를 압입하여 측정하는 것으로 금속이나 Ceramic, 산화막, 질화막, 탄소계 재료나 유기고분자재료 등 폭넓은 재료의 표면 Reforming이나 방사선량 등을 측정하는 방법입니다. 측정장치 자체의 성능・정밀도는 물론, 이 압입 측정 할 때의 단자로 되는 Diamond Indenter의 성능・정밀도를 매우 중요한 요소로 됩니다. 여기에 테크다이아의 긴 시간 길러온 Diamond 가공기술과 정밀가공기술이 중요한 역할을 차지합니다.
Needs
도입 전의 실태·과제
Nanoindentation측정기술의 진화에 따라, 측정 선단인 Diamond Indenter로 높은 정밀화를 요구
Solution
과제의 해결책
탁월한 Diamond 가공기술과 고정밀 기계가공기술을 병행하여 테크다이아만의 Diamond Indenter 개발 성공
Point
도입 결정의 이유
고정밀 개발품에 풍부한 경험의 양산기술을 도입 제품 고수율 실현
Result
효과
더욱 높은 정밀도, 진화한 측정기술의 확립과 기술진보를 지원
Needs도입 전의 실태·과제

ナノインデンテーション技術の進化に応える、高精度な圧子が期待される。

端子を材料に押し込むことで、材料の硬さやヤング率を高精度で測定する技術、ナノインデンテーション法において、ダイヤモンド圧子とよばれる測定先端端子の精度は、限りない高精度な形状を追求されます。

このダイヤモンド圧子は、全長2~3ミリ、工具径は0.5ミリ程度で、その先端半径は、100ナノメートル未満を要求される微細かつ高精度。ダイヤモンドは地球上で最も硬質な素材でありながらも、このレベルでは加工に対しては脆弱で、加工には高度な技術が必要とされます。また、微細加工されたダイヤモンドを、シャンクと呼ばれる金属棒に溶着するためには、精度の高い溶着技術が必要となるため、市場ではこの要求を満たす、有効なダイヤモンド圧子の登場が待たれていました。

Solution과제의 해결책

Nanoindentation기술 진화에 따른 높은 정밀도의 Indenter를 기대할 수 있다 

단자를 재료로 압입하는 것으로 재료의 견고함과 Young’s modulus를 고정밀도로 측정하는 기술, Nanoindentation법에 있어서, Diamond Indenter로 불리는 측정 선단 단자의 정밀도는 제한할 수 없는 고정밀도 형상으로 추구됩니다.

이 Diamond Indenter는 전체 길이 2~3mm, 공구경은 0.5mm 정도로 그 선단 반경은 100㎛ 미만을 요구하는 미세한 고정밀도. Diamond는 지구 상에서 가장 견고한 소재이면서 높은 레벨에는 가공에는 취약하며, 가공에는 고도의 기술이 필요합니다. 또한, 미세가공 된 Diamond를 Shank라고 하는 금속봉에 용착시키기 위해서는 고정밀도의 용착기술이 필요하기 때문에 시장에서의 요구를 만족하게 하는 유효한 Diamond Indenter의 등장을 기다려왔습니다.

 

Point도입 결정의 이유

탁월한 Diamond 가공기술과 고정밀도의 정밀기계가공기술의 융합

Diamond 가공기술과 정밀기계가공기술의 융합에 따라, 고객에게 기대되는 상품개발을 완료하였습니다. 그러나 계속되는 상품제공만이 비즈니스 신뢰와 계속으로 이어집니다. 테크다이아는 제품개발력에 풍부한 경험의 양산기술을 개발품에 더하여, 고정밀도와 난이도 높은 Diamond Indenter의 계속된 공급을 실현하여 일관한 Diamond Indenter를 제공하는 Process를 확립하였습니다.

Result효과

보다 고정밀도, 진화한 측정기술의 확립을 지원 

본제품의 개발 또는 제품의 계속적인 제공의 실현에 따라 더욱더 고정밀도의 Nanoindentation 법을 지원하게 되었습니다. Nanoindentation은 초 저하중에서 마찰계수의 측정이나, 박막기판의 밀착성(분리성) 등, 더욱 높아지는 평가기술의 진화를 지지하는 것으로 되어, 기술을 진보・발전에 기여할 것으로 생각합니다.

클라이언트 정보

【클라이언트 직종】 전기기기, 생체의학, 재료의학
【사업내용】 연구개발, Test와 측정기기

 

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문의

82-31-308-6500
영업 시간 9:00-18:00

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