Scribe Machine
4Inch Wafer 대응 Semi Auto Scribe Machine (상품명: TEC-2005RM)
High Speed ・High Quality！
Scribe Machine의 결정판
특징
- 고강성 설계・High Throughput
- Auto Alignment 기능
- Air 제어로 Tool 가압
- Linear Servo Motor 탑재
가공축・이송축・카메라축이 각각 독립. 고속으로 사용될 때 발생하는 진동과 흔들림을 배제하고 깔끔한 Scribe
Line을 만듭니다.
추가로 조건 설정을 고속화할 수 있습니다.
테크다이아 Original Image 인식 시스템으로 Bar Array를 일괄적으로 인식할 수 있습니다.
추가로 １Chip 인식이 가능한 조각 Wafer Mode도 탑재하고 있습니다.
Spring 방식과 같이 Scribe Depth에 좌우되지 않고 일정한 하중이 가능해짐과 동시에 Air Suspension 효과로
Tool의 Jumping이 매우 적어집니다.
구동축의 진동을 줄이기 위해 Linear Servo Motor를 탑재하고, 보다 정밀한 Scribe가 가능해졌습니다.
Option
Diamond ・Scribe Tool |
축적된 Scribe 기술을 토대로 탁월한 Diamond 가공 기술로 탄생 된 테크다이아 Tool |
|---|---|
Tool Setter |
준비시간 절약과 Cutting Point를 쉽게 내기 위한 JIG. Operation을 정밀하게, 또한 단시간 내에 실현합니다. |
사이즈（폭×깊이×높이）/무게
750mm×930mm×1560mm / 700kg
관련SITE
Case Study Page (ZnO Wafer Perfect Scribe 사례)
