Handy Wafer Scriber
여러종류의 Wafer에도 대응가능한 간단하고 저렴한 Wafer Cut 수단이 필요하였다
예산제한이 있는 기업의 연구개발부문이나 대학연구실에서는 Wafer Cut작업을 위해 고액의 전용설비 구입이 곤란하였습니다. 하지만, 사외에 의뢰하기에는 시간이 걸립니다. 개발경쟁에는 이 시간조차 아깝기 때문에, 저렴한 가격의 Wafer Cut 수단이 필요하게 되었습니다. GaN이나 사파이어 등 여러가지 신종류의 Wafer에 대응하고, 그리고 Chip단면의 크랙억제 등 정교한 Cut도 실현하는 Cut수단의 요청이 있었습니다. 또한, 특주기술이 필요없는 간편함도 요구되어 왔었습니다.
Scribe Holder가 독립 된 Pen형 Manual Scribe 공구 「Handy Wafer Scriber」를 개발
가격이 저렴하고 시간이 걸리지 않는 Manual공구 개발을 진행하기에 앞서, 먼저 고객으로의 요구를 받았습니다. 결과, Manual 공구로는
①Scribe위치가 확인되지 않음
②Wafer고정이 곤란
③Scribe에 최적인 날선 각도의 설정・유지가 곤란
④Scribe시 하중 제어가 곤란
등의 문제가 있는 것을 알게되었습니다. 거기에서 이 문제를 해결하기 위해, 새 Manual Scribe공구 「Handy Wafer Scriber」를 개발하였습니다. 「Handy Wafer Scriber」는 Pen식 Holder Scriber Tool을 SET하여, 전용 Plate 조합하여 사용하는 Manual 공구입니다. 4Step으로 Wafer Cut을 완료할 수 있어서, 누구라도 간단히 사용할 수 있습니다.
전용설비에 필요한 노하우를 공구로 실현시키는 아이디어
「Handy Wafer Scriber」에 다음과 같은 기능을 위해 종래 Manual 공구 문제를 해결하고, 고정밀의 Wafer Cut 실현을 가능하도록 하였습니다.
①Scribe Holder를 독립
Scribe Holder가 독립한 디자인으로, Scribe위치의 확인이 가능하게 되었습니다.
②샌드위치 방식을 채용
전용 Scribing Plate 사이에 샌드위치 되도록 Wafer를 끼우는 것으로 Cut시 Wafer 고정문제를 해결하였습니다.
③Scribe Tool 유지법을 개선
Scribe Tool을 SET하는 것으로 Cutting Point를 자동으로 설정완료. 최적의 각도를 유지하며 Cut이 가능하도록 되었습니다.
④Pen끝에 Spring 탑재
Pen끝의 Spring으로, 적절한 하중을 일정하게 유지하면서 Cut이 가능하게 되었습니다.
사용방법 소개 비디오
풍부한 Scribe Tool과 정밀기계가공기술이나 장치개발기술 등, 여러부문을 가지고 있는 테크다이아에서의상품 개발 된 것이 고객의 지지를 얻게 되었습니다.
신규기업에서 고정밀의 Wafer Cut을 실현중. 그 외에도 세계 각 기업과 대학 등에서 채용되고 있습니다.
【클라이언트 업종】 공업계대학 ・ 연구실(미국), 기술연구개발소(스페인), 반도체기업 ・ 품질보증부(일본)
82-31-308-6500
영업 시간 9:00-18:00
