Scribe Machine
12Inch Wafer 대응 Semi Auto Scribe Machine (상품명: TEC-5600DD)
12Inch까지 Wafer를 적용되는 Scribe Machine입니다.
특징
- 차세대 대구경 극박(Ultra Thin) Wafer용 Scribe Machine
- Air 제어에 의한 Tool 가압
- Work Table + Porous Chuck 채용
- Linear Servo Motor 탑재
Spring 방식과 같이 Scribing Depth에 좌우되지 않고 일정한 하중이 가능해짐과 동시에 Air Suspension 효과로
인해 Tool의 Jumping이 매우 적어집니다.
Work 전면에 걸쳐 흡착이 균일해져, 깔끔한 Scribe가 가능해집니다.
구동축의 진동을 줄이기 위해 Linear Servo Motor를 탑재하여, 보다 정밀한 Scribe가 가능해집니다.
Option
Diamond ・Scribe Tool |
축적된 Scribe 기술을 토대로 탁월한 Diamond 가공 기술로 탄생된 테크다이아 Tool |
|---|---|
Tool Setter |
준비시간 절약과 Cutting Point를 쉽게 내기 위한 JIG. Operation을 정밀하게, 또한 단시간 내에 실현합니다. |
사이즈（폭×깊이×높이）/무게
1375mm×1090mm×1698mm / 1500kg
