고정밀 드라이 에칭 기술을 사용한 폭 20μm 질화 탄탈 회로
현재 우주 개발을 이끌어가고 있는 NASA는 행성의 형성 과정을 확립하기 위해 우주를 매일매일 관측하고 있습니다. 이것은 성층권에 띄운 기구에서 우주를 정점으로 촬영하여 그 변화를 계측・분석하는 방법입니다. 촬영에는 우주의 아주 먼 곳으로부터 도달하는 미량의 광자(광입자)를 고감도 적외선 카메라로 촬영하는 기술이 필요합니다. 광자를 보다 선명하게 촬영하는 기술을 요구하는 NASA로 테크다이아는 하이브리드 회로 기판 제작기술(HCT)로 공헌하였습니다.
Needs
도입 전의 실태·과제
NASA는 초전도 회로 기판을 원하고 있었다
Solution
과제의 해결책
질화탄탈을 이용한 폭 20μm 고정밀 회로기판
Point
도입 결정의 이유
높은 정밀도의 드라이 에칭기술
Result
효과
현재, 운용하기 위한 연구가 진행중입니다
Needs도입 전의 실태·과제

NASA는 우주관측에 높은 정밀도의 초전도 회로 기판을 찾고 있었다

NASA가 요구한 것은 우주를 보다 선명하게 촬영할 수 있는 초전도 회로 기판 입니다. 이 회로 재료에 지정되는 것이 질화 탄탈 (TaN)입니다.
하지만, 질화 탄탈은 통상 저항막으로 사용되기 때문에 선과 같이 얇게 하면 끊어져 버리거나 회로의 정밀도가 떨어져 버립니다. 질화 탄탈을 이용하여 얼마나 균등하고 고정밀 회로를 형성 여부가 큰 문제였습니다.

Solution과제의 해결책

테크다이아의 가공기술이 실현한 질화 탄탈을 이용한 폭 20μm 회로 기판

테크다이아는 창업부터 축척해 온 가공기술을 응용한 하이브리드 회로 기판 제작기술(HCT)에서 해결책을 제공하였습니다.
성층권 특수 환경에서도 견딜 수 있는 튼튼한 알루미나 기판에 질화 탄탈 20μm으로 얇고 고정밀 회로를 실현할 수 있었습니다. 이번 회로 형성에 이용한 것은 드라이 에칭이라는 기술로 높은 기술력을 필요로 합니다만, 회로의 두께를 두껍게 하는 등, 시행착오를 거쳐 회로 정밀도를 높였습니다.

질화 탄탈로 형성된 20μm 회로 기판 우측 상단은 NASA, 좌측 하단에는 테크다이아 로고

Point도입 결정의 이유

고정밀 회로기판으로 가능하게 한 에칭을 바탕으로 한 가공기술

20μm의 가늘고 균등한 질화 탄탈 회로. 이것을 실현한 테크다이아 가공기술이 높게 평가되었습니다.
또한, 단납기로 샘플 제작 대응, 고객의 니즈보다 한발 더 앞서 실현하려고 하는 테크다이아의 타협 없는 자세도 채용 결정의 큰 이유로 되었습니다.

Result효과

NASA에서 엄격한 테스트를 통과하여 채용으로 결정. 성층권 관측을 향하여 카메라 보호 상자 시험 단계입니다. 

클라이언트 정보

 

미국・미국항공우주국 (NASA)

 

문의

82-31-308-6500
영업 시간 9:00-18:00

문의
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