特殊ノズル

材質

SUS

加工技術

29Gパイプ(24本)高精度加工及び、アッセンブリ。

吸着ユニット

材質

ポリエステル系樹脂材

加工技術

φ0.15穴あけ加工(9504穴)及び、精密研削加工(平面度1μm以下)。

半導体製造装置用部品

材質

TAB6400(64チタン)

加工技術

難削材による高精度長尺加工(全長480mm)及び、精密研削加工(平面度3μm以下)。

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