支持6英寸晶片的
新一代裂片设备。

特长

• 支持标准6英寸晶片

更换裂片刀与工作台后，可支持2英寸～4英寸的晶片。

• 配备裂片识别功能

通过配备自动机械必不可少的裂片识别功能，可有效提高良品率。

• 通过工作环传送功能提高生产效率

通过机械式手臂传送，缩短了晶片装载时间。

• 强化图像识别功能，使操作更为简便

提高图像自动识别度,有效降低因图像识别困难而产生的错误。

选项

尺寸(宽度×进深×高度)/重量

1516mm×862mm×1506mm / 650kg